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超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析

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詳細(xì)介紹

超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析

  氮封水箱一般應(yīng)用在超純水系統(tǒng)中,一般用在混床或EDI電去離子設(shè)備后的需要設(shè)置緩沖水箱時,此時往往會優(yōu)先考慮采用氮封水箱來作為緩沖罐,氮?dú)庖蠹兌葹?9%。 氮封裝置(氮封閥)是由ZZDG型指揮器操作型自力式壓力調(diào)節(jié)閥(這里簡稱供氮閥)和ZZDX型自力式微壓調(diào)節(jié)閥(簡稱泄氮閥)及呼吸閥三大部份組成。當(dāng)罐內(nèi)壓力升高超過設(shè)定值時,供氮閥關(guān)閉,泄氮閥打開(罐頂未設(shè)呼吸閥,或呼吸閥故障打不開),將罐內(nèi)多余壓力泄放。在儲罐內(nèi)壓力降低時,泄氮閥處于關(guān)閉狀態(tài),供氮閥打開,向罐內(nèi)注氮?dú)狻9┑y閥前壓力在1.0Mpa以下,現(xiàn)場壓力較高時,可在供氮閥前安裝一只ZZYP型自力式壓力調(diào)節(jié)閥將壓力減至1.0 Mpa以下,以提高可靠性和使用效果。
 

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥049.jpg

      氮封裝置(氮封閥)的供(泄)氮壓力設(shè)定方便,可在連續(xù)生產(chǎn)的條件下進(jìn)行。在設(shè)定壓力范圍內(nèi),如從100mm H20需調(diào)整到50mm H20,可通過調(diào)節(jié)供氮閥頂部的調(diào)節(jié)螺絲,改變彈簧的力,即可達(dá)到需要新設(shè)定的工藝值。泄氮閥的調(diào)整也是同理。呼吸閥設(shè)定值調(diào)整:在上述設(shè)定值調(diào)整好后,為避免呼吸閥啟閉頻繁,呼吸閥的設(shè)定值應(yīng)大于泄壓設(shè)定置。

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥070.jpg

    超純水在空氣中如何被污染:*,空氣中含有二氧化碳、細(xì)菌、塵埃等雜質(zhì),而超純水為純的溶劑,對這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng),故一旦超純水與空氣接觸,就會使其電阻率迅速下降,實(shí)踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會下降至3-4MΩ.cm,3分鐘以后就會下降到2MΩ.cm左右。因此必須要減少超純水與空氣接觸的機(jī)會。空氣中含有二氧化碳、塵埃等雜質(zhì),而超純水為純的溶劑,對這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng),故一旦超純水與空氣接觸,就會使其電阻率迅速下降,實(shí)踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會下降至3-4MΩ.cm,3分鐘以后就會下降到2MΩ.cm左右,因此超純水的儲存容器需確保水體與空氣的接觸。

氮封閥0019.jpg

超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析處理超純水與空氣接觸的方法:
充氮法:即在水箱水面上充入氮?dú)馐瓜鋬?nèi)維持適當(dāng)?shù)恼龎毫Γ柚勾髿馀c箱內(nèi)水面接觸。
薄膜袋法:即在在水箱內(nèi)設(shè)置袋狀薄膜覆蓋于水面上,薄膜袋隨水位升降,減少水面與空氣接觸面積。   
浮頂法:即以密度比水輕的輕質(zhì)材料在水箱內(nèi)制成整塊板狀浮頂浮于水面,并用輕質(zhì)彈性材料(如海綿、發(fā)泡塑料等)遮蓋浮頂與箱間的間隙,浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機(jī)會。在上述三種方法中又以氮封水箱常見,實(shí)施簡單,效果好。

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥28.jpg

超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析的工作原理:
超純水氮封水箱是將一定量的氮?dú)獬淙朊芊獾乃鋬?nèi),水箱內(nèi)氮?dú)鈮毫Σ淮笥?0Kpa,氮?dú)馐嵌栊詺怏w能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì),保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。
氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成,而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成,當(dāng)儲罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時,快速泄放閥迅速開啟,將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥是在儲罐內(nèi)壓力降低時,開啟閥門,向罐內(nèi)充注氮?dú)狻R蛭赫{(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下,現(xiàn)場N2壓力較高,必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。壓力可按要求分段設(shè)定,從0.5Kpa至60 Kpa以下。
微壓調(diào)節(jié)閥壓力調(diào)節(jié)范圍內(nèi)選定一設(shè)定值 如:3Kpa
泄氮設(shè)定值的設(shè)定應(yīng)遠(yuǎn)離供氮壓力值,如:8Kpa。
具體壓力的設(shè)定值要根據(jù)純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量和水箱容量大小來確定選擇。
N2的純度為99。995%以上。

是一種控制閥后壓力的調(diào)節(jié)閥,其初始位置的閥芯在開啟位置,當(dāng)指揮器執(zhí)行機(jī)器檢測到閥后壓力升高至設(shè)定值,自動關(guān)閉指揮器,隨即主閥開度逐漸減小,直至閥后壓力穩(wěn)定在要求的設(shè)定值。

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥27.jpg

七、超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析規(guī)格用技術(shù)參數(shù)

主要參數(shù)及主要性能指標(biāo)見表一                             表一

公稱通徑DN(mm)

20

25

40

50

80

100

150

閥座直徑(mm)

6

15

20

25

32

40

50

65

80

100

125

150

額定流量系數(shù)Kv

0.32

5

8

11

20

30

48

75

120

190

300

480

壓力調(diào)節(jié)范圍KPa

0.1~0.5、0.4~5.0、4.0~12.0、

公稱壓力PN(MPa)

1.6

被調(diào)介質(zhì)溫度(℃)

-5~+100

流量特性

快開

調(diào)節(jié)精度(%)

≤±5

執(zhí)行機(jī)構(gòu)有效面積(cm2)

100

200

280

400

信號接口

內(nèi)螺紋M10×1.5

M16X1.5


2、超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析壓力調(diào)節(jié)范圍見表二                                                   表二

壓力調(diào)節(jié)范圍(KPa)

指揮器膜室

有效面積(cm2)

執(zhí)行機(jī)構(gòu)膜室

有效面積(cm2)

使用閥門口徑(mm)

0.1~0.5

1200

100

20~32

0.4~5.0

600

4.0~12.0

400

0.1~0.5

1200

200

40~50

0.4~5.0

600

4.0~12.0

400

0.1~0.5

1200

400

65~100

0.4~5.0

600

4.0~12.0

400

0.1~0.5

1200

600

125~150

0.4~5.0

600

4.0~12.0

400


3、超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析主要零件材料見表三 表三

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥18.jpg

零 件 名 稱

材         料

氣動活塞式執(zhí)行機(jī)構(gòu),指揮器

組合件

閥體,閥蓋

ZG230-450,ZG0Cr18Ni9Ti,ZG0Cr18Ni12Mo2Ti

推桿,閥桿

2Cr13,1Cr18Ni9

閥座

1Cr18Ni9Ti

閥芯(軟密封)/填料

聚四氟乙烯

膜片

橡膠夾增強(qiáng)滌綸織物/四氟膜片/氟橡膠膜片

彈簧

1Cr18Ni9Ti、60Si2Mn


八、超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析閥體強(qiáng)度和試驗(yàn):

  試驗(yàn)前,必須將閥門腔體內(nèi)的油污、水漬、雜質(zhì)清理干凈,在閥體兩端及接座處安裝度壓板封堵,安裝加壓泵、壓力表、截止閥和排氣閥等。將自來水向閥體腔內(nèi)沖壓并保壓,壓力等級根據(jù)閥門技術(shù)要求和閥門試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)來確定,保壓時間10min。重點(diǎn)檢查閥體承壓面、焊縫處,若外泄漏和結(jié)構(gòu)損失,方可認(rèn)為合格。

1、單體密封試驗(yàn):

  試驗(yàn)介質(zhì)為液體:試驗(yàn)前,全開閥門,將其腔內(nèi)的水漬、雜質(zhì)、油污清理干凈,*關(guān)閉閥門后,安裝試壓板、加壓泵、壓力表、截止閥、排氣閥等。從進(jìn)口盲板處對閥充入自來水,水壓力等級根據(jù)閥門技術(shù)要求和閥門試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)來確定,保壓時間3min。泄漏量符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(GB/T4213-2008)的相關(guān)規(guī)定,可認(rèn)為合格。

  試驗(yàn)介質(zhì)為氣體:試驗(yàn)前,全開閥門,將其腔內(nèi)的水漬、雜質(zhì)、油污清理干凈,*關(guān)閉閥門后,安裝試壓板、加壓泵、壓力表、截止閥、排氣閥等。從進(jìn)口盲板處對閥充入溫度為5~10℃的清潔空氣,壓力等級根據(jù)閥門技術(shù)要求和閥門試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)來確定,保壓時間3min。泄漏量符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(GB/T4213-2008)的相關(guān)規(guī)定,可認(rèn)為合格。

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥8.jpg

2、動作試驗(yàn):

  空載動作試驗(yàn):試驗(yàn)前,全開閥門將其腔內(nèi)的水漬、雜質(zhì)、油污清理干凈,*關(guān)閉閥門;外接液壓驅(qū)動閥門開關(guān)數(shù)次,若閥門在開啟過程能正常動作,全行程時間滿足要求且沒有異響聲等現(xiàn)象,則認(rèn)為合格。

  帶負(fù)載開啟試驗(yàn):試驗(yàn)前,全開閥門將其腔內(nèi)的水漬、雜質(zhì)、油污清理干凈,*關(guān)閉閥門;閥體一端安裝試驗(yàn)盲板并安裝加壓力泵、壓力表、截止閥等。對密封腔內(nèi)充入干凈空氣壓壓,壓力等級根據(jù)閥門技術(shù)要求和閥門試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)來確定,持續(xù)一分鐘。外接液壓站驅(qū)動閥門開關(guān)次數(shù),若閥門在開啟過程中能正常動作,全行程時間滿足要求且沒有異響聲等現(xiàn)象,則認(rèn)為合格。

  總之,新購調(diào)節(jié)閥必須經(jīng)過強(qiáng)度試驗(yàn)、密封試驗(yàn)和動作試驗(yàn),驗(yàn)收合格后方可投入使用。

九、超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析流量特性

 

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥44.jpg

超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析規(guī)格與技術(shù)參數(shù)

公稱通徑DN(mm)20253240506580100125150200
額定流量Kv大容量71120304875120190300480760
標(biāo)準(zhǔn)型571120304875120190300480
高精度2.8571120304875120190300
額定行程L(mm)8101420254050
公稱壓力PN(MPa)1.6 4.0
固有流量特性快開
固有可調(diào)比R30
設(shè)定點(diǎn)壓力調(diào)節(jié)范圍0.5~2、1~3、3~10、5~15、10~30、20~60、40~120、80~200、150~300 200~400、300~600、500~800、600~1000
調(diào)節(jié)精度(%)±5~8
放大器最高工作溫度(℃)橡膠膜片(丁晴):-20~80 橡膠膜片(氟膠):-20~200
泄漏等級Ⅳ級(10-4×閥額定容量)、Ⅵ級(微氣泡級)


注:表中數(shù)據(jù)為本公司標(biāo)準(zhǔn)配置,可按用戶要求另行選配

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥43.jpg

超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析連接尺寸及標(biāo)準(zhǔn)

連接方式:法蘭 (標(biāo)準(zhǔn)型) 螺紋、焊接 (須用戶)

法蘭標(biāo)準(zhǔn):PN16鋼制法蘭按GB/T9113.1 PN40鋼制法蘭按GB/T9113.2

密封面型式:PN16為突面(RF); PN40為凹凸面,閥體為凹面;

法蘭端面距:GB12221-89

薄膜執(zhí)行機(jī)構(gòu)氣信號接口:內(nèi)螺紋M16×1.5、M10X1、RC1/4


* 連接方式、閥體法蘭及法蘭端面距可按用戶的標(biāo)準(zhǔn)制造,如:ANSI、DIN、JIS等標(biāo)準(zhǔn)。

公稱通徑DN(mm)20253240506580100125150200
L150160180200230290310350400480600
H6906907057057608008008408809801050
Aφ178、φ198、φ232、φ280、φ308、φ394、φ498
L12332333323323735725526739809001200
P≥135170220220235245325425550660900
重量(kg)18182527426580108182260305
導(dǎo)壓管螺紋接頭M16×1.5、M10X1、RC1/4

注:1、指揮器與主閥可分開安裝

十、超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析典型的安裝方式說明

 

氮封閥002.jpg

超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析工作原理:

當(dāng)儲罐出液閥開啟,放料時,液面下降,氣相部分容積增大,罐內(nèi)氮?dú)鈮毫档停┑y開啟,向儲罐注入氮?dú)猓迌?nèi)氮?dú)鈮毫ι仙?dāng)罐內(nèi)壓力上升至供氮閥壓力設(shè)定值時,供氮閥自動關(guān)閉。

當(dāng)儲罐進(jìn)液閥開啟,進(jìn)料時,液面上降,氣相部份容積減小,罐內(nèi)壓力升高,當(dāng)高于泄氮閥壓力設(shè)定值時,泄氮閥打開,向外界釋放氮?dú)猓迌?nèi)氮?dú)鈮毫ο陆担抵列沟y壓力設(shè)定值時,泄氮閥自動關(guān)閉。

超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析選用說明:

一般供氮壓力在300~800KPa左右,氮封設(shè)定壓力1KPa,泄氮壓力2KPa,呼吸閥呼氣壓力3KPa,吸氣壓力-300Pa。

罐頂呼吸閥僅起安全作用,是在主閥失靈,導(dǎo)致罐內(nèi)壓力過高或過低時,起到安全作用,在正常情況下不工作。

泄氮閥安裝在罐頂,口徑一般與進(jìn)液閥口徑相近,但工況參數(shù)不一樣,需進(jìn)選型計(jì)算再定。

一般供氮閥選用ZZYVP-16B供氮閥,泄氮閥選用ZZVP-16K泄氮閥、HXF-10呼吸閥采用阻火式。

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥042.jpg

超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析安裝注意事項(xiàng):

自力式氮封閥利用介質(zhì)自身的壓力操作執(zhí)行機(jī)構(gòu),在執(zhí)行機(jī)構(gòu)內(nèi)充滿介質(zhì),故合理的安裝方式將提高設(shè)定點(diǎn)的調(diào)節(jié)精度和增加閥門的使用壽命。

在安裝時取壓點(diǎn)的位置應(yīng)離調(diào)壓閥有適當(dāng)距離,大于6~10倍管道直徑。

建議安裝旁路以供定期檢修。

指揮器與主閥可分開安裝。

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥048.jpg

十二、超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析安裝、維護(hù)、調(diào)試

1、安裝(見圖三)

檢查整機(jī)零件是否缺損與松動,對使用有害人體健康的介質(zhì),必須進(jìn)行強(qiáng)度、密封、泄漏與精度測試。

在安裝前,對管道進(jìn)行清洗(否則由于焊渣等管道垃圾,損壞閥芯密封面,導(dǎo)致閥門不能正常工作),閥門入口處要有足夠的直管段,并配有過濾器。閥體與管道的法蘭連接,要注意同軸度。

安裝場地應(yīng)考慮到人員與設(shè)備的安全,即便于操作,又有利于拆裝與維修。

閥門應(yīng)正立垂直安裝在水平管道上,導(dǎo)壓管必須安裝在距離閥出口至少六倍于公稱通徑的閥后管道上。閥自重較大與有振動的場合,要用支撐架,盡量避免水平安裝。

介質(zhì)流動方向應(yīng)與閥體上的箭頭指向一致。因微壓閥屬于精密儀表,其中指揮器膜片直接承受介質(zhì)壓力,若閥門反裝或管道有反沖壓力,則指揮器膜片由于受壓過高導(dǎo)致膜片損壞,閥門不能工作。閥門應(yīng)在環(huán)境溫度-25~+55℃場所使用。

為使自控系統(tǒng)失靈或檢修閥門時,仍能連續(xù)生產(chǎn),應(yīng)設(shè)置旁路閥(見圖三)。

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥堵塞34.jpg

超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析維護(hù):

清洗閥門:對清洗一般介質(zhì),只要用水洗凈就可以。但對清洗有害健康的介質(zhì),首先要了解其性質(zhì),在選用相應(yīng)的清洗辦法。

閥門的拆卸:將外露表面生銹的零件先除銹,但在除銹前,要保護(hù)好閥座、閥芯、閥桿與推桿等精密零件的加工表面。拆裝閥座時應(yīng)使用工具。

閥芯、閥座:二密封面有較小的銹斑與磨損,可用機(jī)械加工的方法進(jìn)行修理,如損壞嚴(yán)重必須換新。但不管修理或更換后的硬密封面,都必須進(jìn)行研磨。

閥桿:表面損壞,必須換新。

壓縮彈簧:如有裂紋等影響強(qiáng)度的缺陷,必須換新。

易損零件:填料、密封墊片與O型圈,每次檢修時,全部換新。膜片必須檢查是否有預(yù)示將來可能發(fā)生裂紋、老化與腐蝕等痕跡,根據(jù)檢驗(yàn)結(jié)果,決定是否更換,但膜片使用期一般最多2~3年。

閥門組裝要注意對中,螺栓要在對角線上擰緊,滑動部分要加潤滑油。組裝后應(yīng)按產(chǎn)品出廠測試項(xiàng)目與方法調(diào)試,并在這期間,可更準(zhǔn)確地調(diào)整填料壓緊力與閥芯關(guān)閉位置。

超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析調(diào)試:

所需要壓力值是通過對指揮器頂部的調(diào)節(jié)螺母的操作而得到調(diào)整,打開頂部的防塵蓋,用扳手調(diào)整調(diào)節(jié)螺母。順時針方向旋轉(zhuǎn)使壓力增大,逆時針旋轉(zhuǎn)則壓力減小。安裝在壓力調(diào)節(jié)閥后的壓力表,可使工作人員借以觀察調(diào)整后的壓力給定值。

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓4.jpg

   超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析防止超純水容器被空氣污染的常見方法:
   ☆充氮法:即在水箱水面上充入氮?dú)馐瓜鋬?nèi)維持適當(dāng)?shù)恼龎毫Γ柚勾髿馀c箱內(nèi)水面接觸。
   ☆薄膜袋法:即在在水箱內(nèi)設(shè)置袋狀薄膜覆蓋于水面上,薄膜袋隨水位升降,減少水面與空氣接觸面積。
   ☆浮頂法:即以密度比水輕的輕質(zhì)材料在水箱內(nèi)制成整塊板狀浮頂浮于水面,并用輕質(zhì)彈性材料(如海綿、發(fā)泡塑料等)遮蓋浮頂與箱間的間隙,浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機(jī)會。
在上述三種方法中又以氮封水箱zui常見,實(shí)施簡單,效果。
  氮封水箱的組成:
  氮封水箱是由三部分組成:
  ☆氮?dú)庠矗和ǔ?梢赃x用潔凈高壓氮?dú)馄俊⒅频獧C(jī)、工廠現(xiàn)有潔凈壓縮氮?dú)?#8230;…
  ☆密閉水箱:超純水水箱一定要全密封,一方面防止氮?dú)馔庑梗硗夥乐箍諝膺M(jìn)入水箱污染超純水。
  ☆控制系統(tǒng):氮封閥裝置

ZZYVP型帶指揮器調(diào)壓閥49.jpg

超純水箱系統(tǒng)自力式氮封閥選型分析

1、水箱未滿水前需要補(bǔ)水;
2、補(bǔ)水時需要打開呼吸器;
3、補(bǔ)水時水箱滿后設(shè)備需停水;
4、水箱水位不足后處理系統(tǒng)需停機(jī)保護(hù)直至水位正常;
5、補(bǔ)水完成后關(guān)掉呼吸器;
6、前面的步驟完成后再補(bǔ)氮?dú)?#8230;…這些都需要有一套全自動的程序來協(xié)調(diào)控制,保證超純水不會被大氣污染。
7、反滲透設(shè)備在使用前,需采用蒸氣進(jìn)行高溫消毒,設(shè)備運(yùn)行時前72小時生產(chǎn)出來的超純水需排放掉。
8、檢測超純水需在出水口安裝可流運(yùn)水探測槽再裝電阻率擦頭,才能反映出超純水的水質(zhì)。

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